总体规格特点:

l   重量：60kg（含显微镜）。

l   尺寸：760mm長x670mm宽700mm高。

l   优化的人体工学设计，便于工程师长时间舒适的操作。

针座台面规格:

l  U型固定台面，抛光不锈钢+防腐氧化材质

l  台面平整度：±3μm

载台（chuck）规格：

l  6/8/12英寸真空载台，平整度：±3μm，采用真空吸附方式吸附样品，最小吸附样品尺寸为1mmx1mm

l  载台X-Y移动平台，保证wafer的每一点都能够点测到。同时配备X-Y方向微调旋钮，微调精度为1μm，无回差线性调节

l  载台Y方向快速抽进抽出，行程2英寸，方便快递取放样品

l  载台Z方向微调升降范围0-10mm，微调精度为1μm 

l  载台水平角度调节范围0°～360° 

显微镜规格:

l  目镜：高眼点超广角目镜10X一对，双目倾斜45°

l  双目视度可调，调整范围：5°屈光度

l  瞳距调节范围: 52mm~75mm

l  变倍范围: 0.7X~4.5X，变倍比1: 6.7

l  C接口2X

l  工作距离: 100mm

l  总放大倍数28到180倍

l  调焦机构：调焦行程 50mm

l  照明系统：LED光源，亮度可调

l  防霉设计

l  方便观察的护眼罩

l  采用正像光学系统 (视场中的像与样品方向相同)

l  显微镜后侧有X/Y轴调节小摇轮，可调节显微镜在X-Y方向的移动，移动范围50mmX50mm，精度1μm

l  显微镜Z轴带有调焦旋钮，使显微镜在Z轴方向行程50mm